Silicon and germanium issues for future CMOS devices

• • Pelaz, Lourdes
• • Mirabella, Salvo
• • Larsen, Arne Nylandsted

• 関連文献: 1件

• • Pelaz, Lourdes
• • Mirabella, Salvo
• • Larsen, Arne Nylandsted

Silicon and germanium issues for future CMOS devices

Lourdes Pelaz, Salvo Mirabella, Arne Nylandsted Larsen, editors

(European Materials Research Society symposia proceedings, v. 245)

Elsevier, c2010

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  06140002653

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Reprinted from Thin Solid Films (vol.518, 2010)

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  European Materials Research Society symposia proceedings

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