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よくわかる真空技術

アルバック著

(入門ビジュアルテクノロジー)

日本実業出版社, 2007.9

タイトル別名

真空技術 : よくわかる

タイトル読み

ヨク ワカル シンクウ ギジュツ

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注記

参考文献: 巻末

内容説明・目次

内容説明

近年、めざましい発展を遂げるエレクトロニクス分野では、真空中で作られる薄膜を利用した製品が数多く使われています。それはこれらのデバイスの超小型化、高機能化・高信頼性、省資源化、低コスト化に対して、薄膜が大きく貢献しているからです。そしてこうした電子・電気・通信分野だけでなく、材料分析や医薬品・食品、エネルギー・環境など、多くの最先端技術において真空は、その発展を支えています。本書は、こうした真空をつくり出して利用する方法・技術をなるべくやさしく紹介しています。

目次

  • 1章 真空とはどのような状態をいうのだろうか(「真空」とは空間に何もない状態ではない;真空を作るには、空間から気体分子を吸い出す ほか)
  • 2章 真空を利用した生活用品一身のまわりにある真空技術(水分を凍らせて低圧で昇華させる凍結真空乾燥;真空内で沸点の違いを利用する真空蒸留 ほか)
  • 3章 真空のつくり方・計り方(つくる装置/計る装置)(真空をつくる基本的な装置 排気セット;実際の排気セットは主ポンプ・補助ポンプ+各装置 ほか)
  • 4章 真空を利用した薄膜加工技術(真空を利用した薄膜堆積法にはいろいろな方法がある;PVDの代表的手法スパッタ成膜法 ほか)
  • 5章 真空産業の将来(真空技術の新しい活用(1)ナノパーティクル;真空技術の新しい活用(2)カーボンナノチューブ ほか)

「BOOKデータベース」 より

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA82881296
  • ISBN
    • 9784534042590
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    173p
  • 大きさ
    21cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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