IV族半導体の極薄酸化膜の界面評価に関する研究

• • 吉田, 貞史 ヨシダ, サダフミ

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IV族半導体の極薄酸化膜の界面評価に関する研究

研究代表者 吉田貞史

(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度-平成14年度)

[吉田貞史], 2003.3

タイトル読み

IVゾク ハンドウタイ ノ キョクハク サンカマク ノ カイメン ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ

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• 埼玉大学 図書館 図

  998005331,998005332

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研究課題番号13450120

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  科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

  [発行者不定]