TY - BOOK
AU - 藤田, 博之 
TI - Micromachines as tools for nanotechnology
PB - Springer
PY - 2003
T2 - Microtechnology and MEMS
EP - xii, 211 p.
UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA63431419
SN - 354000856X
ER -
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