X線全反射法によるSiO[x]非晶質薄膜の定量構造解析

• • 松原, 英一郎 マツバラ, エイイチロウ

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X線全反射法によるSiO[x]非晶質薄膜の定量構造解析

松原英一郎研究代表

[松原英一郎], 1998.3

タイトル別名

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 課題番号08455290

タイトル読み

Xセン ゼンハンシャホウ ニ ヨル SiO[x] ヒショウシツ ハクマク ノ テイリョウ コウゾウ カイセキ

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  科研||1997||16281003351

  OPAC

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