@book{ BA33799461,
 author = "XEL'97組織委員会 and 難波, 進 and Sakai, Yasuyoshi",
 title = "1997 International Workshop on X-ray and Extreme Ultraviolet Lithography July 13-15,1997 Pacifico Yokohama, Yokohama : Digest of Papers XEL '97",
 publisher = "XEL'97組織委員会 ,[1997.9]",
 year = "1997",
 URL = "https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA33799461"
}
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