著者名	書名	版表示	出版者名	出版年	シリーズ名	番号	ISBN	ISSN	URL
Cahn, R. W. (Robert W.) and Haasen, P. (Peter) and Kramer, E. J. (Edward J.) and Jackson, Kenneth A.	Processing of semiconductors		VCH	1996	Materials science and technology : a comprehensive treatment / edited by R.W. Cahn, P. Haasen, E.J. Kramer	vol. 16	3527268294		https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA29133735
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