TY - BOOK
AU - Cahn, R. W. (Robert W.)
AU - Haasen, P. (Peter)
AU - Kramer, E. J. (Edward J.)
AU - Jackson, Kenneth A.
TI - Processing of semiconductors
PB - VCH
PY - 1996
T2 - Materials science and technology : a comprehensive treatment / edited by R.W. Cahn, P. Haasen, E.J. Kramer
VL - vol. 16
EP - 689 p.
UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA29133735
SN - 3527268294
ER -
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