%A Cahn, R. W. (Robert W.)
%A Haasen, P. (Peter)
%A Kramer, E. J. (Edward J.)
%A Jackson, Kenneth A.
%T Processing of semiconductors
%I VCH
%D 1996
%S Materials science and technology : a comprehensive treatment / edited by R.W. Cahn, P. Haasen, E.J. Kramer
%V vol. 16
%U https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA29133735
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