著者名	書名	版表示	出版者名	出版年	シリーズ名	番号	ISBN	ISSN	URL
難波, 進 and Tsurushima, T. and 応用物理学会 and American Vacuum Society and IEEE Electron Devices Society	MicroProcess 91 : proceedings of the 1991 International MicroProcess Conference, July 15-18, 1991, Kanazawa, Japan		Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics	1992	JJAP series	5	4900526053		https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA19225892
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