TY - BOOK
AU - 難波, 進 
AU - Tsurushima, T.
AU - 応用物理学会
AU - American Vacuum Society
AU - IEEE Electron Devices Society
TI - MicroProcess 91 : proceedings of the 1991 International MicroProcess Conference, July 15-18, 1991, Kanazawa, Japan
PB - Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics
PY - 1992
T2 - JJAP series
VL - 5
EP - 442 p.
UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA19225892
SN - 4900526053
ER -
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