Microlithography : high integration in microelectronics : proceedings of the first workshop, Rio de Janeiro, Brazil, Aug 28-Sept 1, 1989

• • Craievich, Aldo
• • de Souza, G. Gerson Bezerra
• • Baranauskas, Vitor
• • Workshop on Microlithography : High Integration in Microelectronics

• • Craievich, Aldo
• • de Souza, G. Gerson Bezerra
• • Baranauskas, Vitor
• • Workshop on Microlithography : High Integration in Microelectronics

Microlithography : high integration in microelectronics : proceedings of the first workshop, Rio de Janeiro, Brazil, Aug 28-Sept 1, 1989

editors, Aldo Craievich, G. Gerson Bezerra de Souza, Vitor Baranauskas

World Scientific, c1990

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