TY - SER
AU - 日本表面科学会
AU - 日本真空学会
TI - 表面と真空 = Vacuum and surface science
PB - 日本表面科学会 : 日本真空学会
PY - 2018
EP - 冊
UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA12808657
SN - 24335835
ER -
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