Вакуумная спектроскопия, спектроскопия коротковолновой ультрафиолетовой области и мягких рентгеновских лучей (длиной волны от 200 до 0,4-0,6 нм, или от 2000 до 4-6Ă. Излучение в этом диапазоне длин волн сильно поглощается в воздухе, поэтому в Вакуумная спектроскопия спектральный прибор, приёмник и источник излучения помещают в герметическую камеру, из которой откачан воздух до давления 10-4 - 10-5мм рт. ст. (10-2-10-3 н/м2). Камеру часто наполняют инертными газами (например, гелием), которые не поглощают излучение. Источником излучения в Вакуумная спектроскопия чаще всего служит высоковольтная вакуумная (или «горячая») искра, работающая при напряжении 50 кв и искровом промежутке около 1 мм. Установка, создающая искру, помещена в одной камере со спектральным прибором.
Приборы и методы, применяемые в Вакуумная спектроскопия, обладают специфическими. особенностями, обусловленными непрозрачностью обычных оптических материалов для коротковолновой области. Для длин волн меньше 110 нм (1100 Ă) вместо приборов с обычными призмами и линзами применяют спектрографы с вогнутыми дифракционными решётками из стекла либо изогнутыми кристаллами (например, слюда), действующими как дифракционная решётка .
Исследование спектров испускания и поглощения в ультрафиолетовой области имеет большое значение для изучения строения внутренних электронных оболочек атома, систематики атомных и электронных молекулярных спектров , для расшифровки спектров звёзд и туманностей. Особенно большое значение имеет Вакуумная спектроскопия для физики высокотемпературной плазмы.
Лит.: Сойер Р., Экспериментальная спектроскопия, пер. с англ., М., 1953; Гаррисон Д., Лорд Р., Луфбуров Д., Практическая спектроскопия, пер. с англ., М., 1950.