走査型レーザー顕微鏡
- 区分
- 設備
- 分類
- 寸法・形状測定機器類
- メーカー
- レーザーテック(株)
- 型式
- HYBRID L3
- 仕様及び性能
- 光源 レーザー(λ=405nm)/キセノン
対物レンズ ×ばつ
視野 □しろいしかく3,000μm(5倍)〜□しろいしかく150μm(100倍)
ズーム機能 ×ばつ8倍
倍率 1850倍(対物レンズ100倍) (24インチモニタ上)
ステージ移動量 ×ばつ152mm(オートステージ)
Z軸走査範囲 7mm(駆動分解能0.4nm)
試料最大高さ 100mm
光測定機能 ノマルスキー微分干渉観察
解析機能 断面解析、面内解析、粗さ解析等
※(注記)上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
- 用途
- 用途 工業製品、部品等の表面(機械加工、表面処理、塗装、etc.)や微細形状の観察や寸法、形状測定。
- 導入年
- 2014年
- 画像
-
- 料金
- 3230円/時間
- 設置場所
- 福島県ハイテクプラザ(郡山)
- 予約・連絡先
- 024-954-4962
- 備考
- 県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。
