スパッタリング装置
- 区分
- 設備
- 分類
- 材料加工機器類
- メーカー
- 日本電子(株)
- 型式
- JUC5000
- 仕様及び性能
- 方式:マグネトロン式
ターゲット:Pt
※(注記)上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
- 用途
- 電子顕微鏡観察の際に、非導電性試料へ金属の薄膜をコーティングする
- 導入年
- 1992年
- 画像
-
- 料金
- 200円/時間
- 設置場所
- 福島県ハイテクプラザ(郡山)
- 予約・連絡先
- 024-959-1738
- 備考
- 県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。
