イオンミリング装置
- 区分
- 設備
- 分類
- 材料加工機器類
- メーカー
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型式
- IM4000Plus
- 仕様及び性能
- 使用ガス:アルゴンガス加速電圧:0〜6kV最大試料サイズ:×ばつ25(H) mm 平面ミリング20(W)×ばつ12(D)×ばつ7(H) mm 断面ミリング
※(注記)上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。 - 用途
- 試料にアルゴンイオンビームを照射し、スパッタエッチングにより最表層の汚れや付着物、変質層を除去することができます。設定により断面作製も可能です。SEM観察や高倍率の顕微鏡観察の前処理に適します。
- 導入年
- 2015年
- 画像
- 料金
- 4040円/時間
- 設置場所
- 福島県ハイテクプラザ(郡山)
- 予約・連絡先
- 024-959-1738
- 備考
- 県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。
