RFスパッタ装置
- 区分
- 設備
- 分類
- 材料加工機器類
- メーカー
- (株)東栄科学産業
- 型式
- SPT-4STD
- 仕様及び性能
- 排気系:ターボ分子ポンプ350l/sec
RF出力:500W
ターゲット寸法:φ4インチ
×ばつ0.5tmm
※(注記)上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。 - 用途
- スパッタリングによる金属薄膜等の成膜
- 導入年
- 2003年
- 画像
- 料金
- 3550円/時間
- 設置場所
- 福島県ハイテクプラザ(郡山)
- 予約・連絡先
- 024-954-4962
- 備考
- 県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。
