ファインMEMSプロジェクトの軌跡

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ファインMEMSプロジェクトの軌跡(アーカイブ)

本サイトは2006年度から2008年度の3年間、国/NEDOプロジェクトとして実施された高集積・複合MEMS製造技術開発事業(ファインMEMSプロジェクト)の記録集です。

プロジェクト活動の記録
ファインMEMSプロジェクトの活動内容をMMCが取りまとめたもの
プロジェクトの歩み
プロジェクト関連委員会
NEDO事業原簿(公開版)
NEDO成果報告書 高集積・複合MEMS製造技術開発事業「高集積・複合MEMSシステム化設計プラットフォームの研究開発」(2009.3)
MEMSペディア(MEMSPedia)
MEMSペディア はプロジェクトの中でMMCが研究開発を担当
MEMSPedia > マイクロマシン・MEMS技術専門用語集
MEMSPedia > 等価回路ジェネレータ
NEDO成果報告書 高集積・複合MEMS製造技術開発事業「高集積・複合MEMS知識データベースの整備」 (2009.3)
その他
マイクロナノトーク > ファインMEMSプロジェクト関連情報
【ファインMEMSプロジェクト研究分野】


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