(注)上記のうち、JSNM-SI-001と002の2規格は、協会規格を原案としてJISC(日本産業標準調査会)における審議を経て、JIS規格が制定されています。
JIS H 0616:2024 室温フーリエ変換赤外吸収分光法によるシリコン単結晶の低濃度置換型炭素濃度の測定方法
JIS H 0617:2024 フォトルミネッセンスによるシリコン単結晶中の低炭素不純物濃度測定方法
JIS規格票(解説付き)をご入用の方は、次のリンクからアクセスし、日本規格協会からご購入ください。
https://webdesk.jsa.or.jp/
「以下の成果物(既廃止規格等)は、一般社団法人電子情報技術産業協会(JEITA)との合意に基づき、記録のために一般社団法人新金属協会のホームページに掲載します。
本成果物を複写することは、お断りいたします。」
(注)上記のうち、JEIDA-45-1992規格は、JIS規格 H 0615:1996 として制定されていましたが、その後の進展に対応して新金属協会にて改正原案を作成し、JISC(日本産業標準調査会)における審議を経て、下記のJIS規格として制定されています。
JIS H 0615:2021 フォトルミネッセンスによるシリコン結晶中の不純物濃度測定方法