<図書>
イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等 / 平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員
イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー ノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ

出版情報 枚方 : イオン工学研究所 , 2003.5
大きさ xviii, 1126p ; 27cm
別書名 異なりアクセスタイトル:ナノテクノロジーの道を拓くイオン工学ハンドブック
ローマ字翻字タイトル:Ion kogaku hando bukku : nano tekunoroji no michi o hiraku : hakumaku gosei kako ion chunyu hyomen kaishitsu debaisu oyo maikuro mashin to
一般注記 監修: 水野博之
その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之
参考文献あり
著者標目 平尾, 孝 <ヒラオ, タカシ>
岩本, 信也 <イワモト, ノブヤ>
尾浦, 憲治郎 <オウラ, ケンジロウ>
鯉沼, 秀臣 <コイヌマ, ヒデオミ>
笹部, 馨 <ササベ, カオル>
松波, 弘之(1939-) <マツナミ, ヒロユキ>
水野, 博之 <ミズノ, ヒロユキ>
本文言語 日本語
書誌ID TT41397088
NCID BA63759670 WCLINK

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