<図書>
Ion implantation in semiconductors : silicon and germanium / [by] James W. Mayer, Lennart Eriksson and John A. Davies

出版者 New York : Academic Press
出版年 1970
書誌ID TT20354806
NCID BA18163723 WCLINK

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資料区分 図書
本文言語 英語
大きさ xiii, 280 p. : ill. ; 24 cm
一般注記 Includes bibliographical references
著者標目 *Mayer, James W., 1930-
Eriksson, Lennart, 1938-
Davies, John Arthur, 1927-
件 名 LCSH:Ion implantation
LCSH:Semiconductors
分 類 LCC:TK7871.85
DC:621.381/52
巻冊次 ISBN:0124808506
目次/あらすじ

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